磷酸
电子级磷酸

化学分子式: H3PO4

CAS 编号: 7664-38-2

用途: 主要用于半导体分离器件作清洗剂和蚀刻剂,广泛应用于大规模集成电路。1、基片涂胶前的清洗;2、光刻过程中的蚀刻和最终去胶; 3、硅片本身制作过程中的清洗和绝缘膜蚀刻、半导体膜蚀刻、导体膜蚀刻、有机材料蚀刻等。

包装: 20L/200L 聚乙烯塑料桶、1000L IBC罐

项目

指标

E1

E2

E3/E4

外观

无色、无臭、黏稠状液体

磷酸(H3PO4)质量分数(85%)/(%)

85~87

85~87

85~87

易氧化物(以H3PO3计)质量分数/%         ≤

0.005

0.001

0.001

硝酸盐(NO3-)质量分数/(mg/kg)        ≤

5

0.5

0.5

硫酸盐(SO42-)质量分数/(mg/kg)        ≤

10

5

5

氯化物(Cl-)质量分数/(mg/kg)       ≤

1

0.5

0.2

铝(Al)质量分数/(μg/kg)              ≤

200

50

硼(B)质量分数/(μg/kg)               ≤

50

锑(Sb)质量分数/(μg/kg)              ≤

3000

300

砷(As)质量分数/(μg/kg)             ≤

100

20

钡(Ba)质量分数/(μg/kg)            ≤

100

20

镉(Cd)质量分数/(μg/kg)            ≤

100

20

钙(Ca)质量分数/(μg/kg)            ≤

1000

50

铬(Cr)质量分数/(μg/kg)             ≤

100

20

钴(Co)质量分数/(μg/kg)              ≤

100

20

铜(Cu)质量分数/(μg/kg)             ≤

50

20

镓(Ga)质量分数/(μg/kg)            ≤

100

10

金(Au)质量分数/(μg/kg)             ≤

100

10

铁(Fe)质量分数/(μg/kg)              ≤

300

50

铅(Pb)质量分数/(μg/kg)             ≤

100

20

锂(Li)质量分数/(μg/kg)             ≤

100

10

镁(Mg)质量分数/(μg/kg)             ≤

100

20

锰(Mn)质量分数/(μg/kg)             ≤

100

20

镍(Ni)质量分数/(μg/kg)             ≤

100

20

钾(K)质量分数/(μg/kg)              ≤

100

20

银(Ag)质量分数/(μg/kg)             ≤

100

20

钠(Na)质量分数/(μg/kg)            ≤

500

50

锡(Sn)质量分数/(μg/kg)             ≤

10

锶(Sr)质量分数/(μg/kg)             ≤

100

20

钛(Ti)质量分数/(μg/kg)            ≤

100

50

锌(Zn)质量分数/(μg/kg)             ≤

100

50

颗粒(粒径,数量)/(μm,pcs/mL)

注:E3/E4等可按客户需求进行个性化定制;“-”表示定制指标,规格单位为ppb或ppt。